微弧氧化处理需经历四个步骤：
(1)阳极氧化阶段
将样品放入一定的电解质中。通电后，样品表面和阴极表面出现无数细小均匀的白色气泡，随着电压的升高，气泡逐渐变大变密，生成速度加快。这种现象在达到突破电压之前就已经存在了，这是阳极氧化阶段。
(2)火花放电阶段
当样品的电压达到突破电压时，样品表面开始出现无数小而低亮度的火花点。这些火花点密度低，没有爆炸性的声音。在这个阶段，陶瓷层开始在样品表面形成，但陶瓷层的生长率很小，硬度和密度很低，所以这个阶段的时间应该尽量减少。
(3)微弧氧化阶段
进入火花放电阶段后，随着电压的不断升高，火花逐渐变大变亮，密度增加。然后，放电弧斑开始出现在样品表面。弧斑较大，密度较高，随着电流密度的增加而变亮，并伴有强烈的爆炸声，进入微弧氧化阶段。
(4)熄弧阶段
在微弧氧化阶段末期，当电压达到最大值时，陶瓷层的生长将出现两种趋势。一是样品表面的弧线越来越疏，最终消失，表面只有少量的细火花，最终消失，爆炸停止。另一种是表面只有少量的细火花，最终会完全消失，其他一个或几个部位突然出现大弧斑。这些大弧斑明亮耀眼，能长时间保持不动，产生大量气体，爆鸣声增加。
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