离子镀是1950年代初在国外开发设计的技术性，归属于航空公司技术性的一部分。该技术性一经产品研发，便拥有快速的发展趋势。它因为对切削刀具和模貝的耐用度的提升十分合理，因此运用十分普遍，遍及全世界。真空离子镀膜机器设备是根据对发热量及其来源于等离子体的动能的运用，在真空自然环境里将金属材料挥发，使其与反映气体融合，随后将其用以负电子基材，最后涂膜。比之传统式的泡浸镀膜，它有优异的耐磨性能和黏附性。
针对工作压力在10⁻³Pa~10⁻⁴Pa范畴内的真空离子镀膜机器设备的设计方案构造有下列规定：
1、阻值。依据GB/T 11164一99规范中的要求，来决策真空室所接不一样电位差间的接地电阻值的尺寸。
2、离子负电子开关电源。离子镀膜机一般具备基材负偏压和离子负电子开关电源，离子负电子开关电源应具有将异常充放电合理抑止的作用，以做到好的工作情况。
3、基材架。基材架与真空室体中间应该有绝缘层设计方案，基材架的设计方案要考虑到基材镀制的膜层匀称难题。
4、加温系统软件。加温系统软件必须 有效的布局，电加热器构造合理布局要充分考虑基材的升温匀称难题。
5、堆积源。设计方案离子镀堆积源要考虑到镀膜全过程中的离化率难题，将离化率尽量地提升，与此同时提升了溅射靶材使用率。堆积源的输出功率要有效配对，堆积源在真空室体的部位一样必须 有效的布局。
6、视窗构造。真空镀膜室配有视窗，在这里视窗上设定隔板。规定视窗可观查到堆积源及其别的重点部位的运行状态。
7、蒸气与油的收集。若机器设备应用的抽真空系统软件是以扩散泵为主导泵，则要有效设定油蒸汽捕集阱。
8、屏蔽掉与精确测量设备。真空精确测量规管安裝于低真空和高真空管路上及真空镀膜室上，可各自各位置的真空度开展精确测量。若静电场影响了精确测量，应安裝静电场屏蔽掉设备于精确测量出口处，用于安图恩攻略该静电场。
9、密封性设备的构造。依据GB/T 6070规范中的要求，来决策机器设备中的真空管路、密封环、密封性法兰盘等设备的构造形式。
