真空离子镀膜机器设备始于二十世纪六十年代D.M.Mattox明确提出的基础理论，且在那时候逐渐拥有相匹配的试验；直至1971年，Chamber等发布离子束离子镀膜技术性；而反映蒸镀（ARE）技术性则是在1972年的Bunshah汇报所强调，这时造成了TiC及TiN等超硬质的的塑料薄膜种类；一样是在1972年，Smith和Moley在镀膜加工工艺中选用了中空负极技术性。到二十世纪八十年代，在我国离子镀总算做到工业生产运用的水平，陆续发生了真空多弧离子镀及电孤充放电型离子镀等镀膜加工工艺。
真空离子镀的全部工作中全过程是：最先先将真空室抽真空，待至真空消耗和环境压力抽至4X10⁻³Pa以上，必须 把直流高压电源接入，在基材与空调蒸发器间搭建一个低电压充放电汽体的等离子超低温地区。用5000V直流电负髙压联接基材电级，进而产生负极的电弧放电。稀有气体离子是在负辉光区周边造成的，其进到负极阴影被静电场加快并对基材表层开展负电子，这是一个清理全过程，以后就进到镀膜全过程，根据负电子加温的功效，汽化一些镀料，等离子区域内进到分子，与电子器件及稀有气体离子造成撞击，也是有一小部分产生离化，针对这种离化后的离子有着高效率能量会对塑料薄膜表层开展负电子，一定水平上面改进膜层品质。
真空离子镀的基本原理是：在真空室中，运用汽体的充放电状况或挥发化学物质的离化一部分，在挥发化学物质离子或汽体离子的负电子功效下，与此同时堆积这种挥发物或其生成物在基材上获得塑料薄膜。
真空离子镀膜机器设备把真空挥发、等离子体技术性与汽体电弧放电这三项技术性融合起來，不单单是使膜层品质显著改善了，并且还让塑料薄膜运用范畴扩张了。该加工工艺的优势是绕射性强、塑料薄膜粘合力好、可镀膜材多种多样等。离子镀基本原理是由D.M.Mattox初次明确提出的，离子镀有很多类型，比较普遍的是挥发加温方法这一类，有电阻丝加热、离子束加温、等离子离子束加温、高频率电磁感应加热等各种各样加温方法的离子镀膜设备。
