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高功率脉冲磁控溅射技术指标_苏州粤辉煌专注微弧氧化加工处理服务

高功率脉冲磁控溅射技术指标

发布时间:2021-05-07阅读量:558

1. 极限压强:优于5×10-4Pa;

2.抽速:大气到5×10-3Pa抽气时间小于25分钟

3.升压率:≦0.4Pa/hr 可以实现高功率磁控溅射功能 工艺过程自动控制和手动控制结合。


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