SSPH系列高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)电源工作于二级高频变换模式,直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成,单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ,并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备。
SSPH系列高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)电源工作于二级高频变换模式,直流脉冲输出。电源由供电及脉冲调制两部分构成,单个脉冲可输出2-8兆瓦的瞬时功率。高功率密度的阴极材料将产生高的金属离化率 ,并且不含靶材颗粒。电源适用于金属工具膜层及装饰膜层制备。
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