与蒸发镀和溅射镀相比,离子镀设备最大的特点是荷能离子在沉积过程中轰击基体和膜层。荷能离子的轰击效应主要有以下几点。
由于离子镀设备具有上述特性,其应用范围非常广泛。在金属、合金、导电材料甚至非导电材料(频偏压)基体都可以采用离子镀技术进行镀膜。沉积的离子涂层可以是金属膜、多合金膜、化合物膜;单层或复合涂层;梯度涂层和纳米多层涂层。采用不同的膜材料、不同的反应气体、不同的工艺方法和参数,可获得表面强化的硬耐磨涂层、致密稳定的化学性能、固体润滑层、各种颜色的装饰涂层和电子、光学、能源科学等特殊功能涂层。离子镀技术和离子镀技术和离子镀产品。
离子真空涂层设备主要用于机械零件、飞机、船舶、汽车、排气管、飞机发动机、高速旋转零件、工具、超硬模具。