与蒸发镀和溅射镀相比,离子镀最大的特点是荷能离子在沉积过程中轰击基体和膜层。荷能离子的轰击效应主要有以下几点。
由于离子镀具有上述特点,其应用范围非常广泛。离子镀技术可用于金属、合金、导电材料甚至非导电材料(高频偏差压力)基底。离子镀沉积膜可为金属膜、多合金膜、化合物膜、单层或复合涂层、梯度涂层和纳米多层涂层。采用不同的膜材料、不同的反应气体、不同的工艺方法和参数,可获得表面强化的硬耐磨涂层、致密稳定的耐腐蚀涂层、固体润滑层、各种颜色的装饰涂层和电子、光学、能源科学所需的特殊功能涂层。离子涂层技术和离子涂层产品了广泛的应用。
离子真空涂层设备主要用于机械零件、飞机、船舶、汽车、排气管、飞机发动机、高速旋转零件、工具、超硬模具。