高功率脉冲磁控溅射复合型开关电源以及电孤特性科学研究
高功率脉冲磁控溅射以其高离化率获得普遍关心,是磁控溅射行业的新方位。
伴随着对高功率脉冲磁控溅射充放电和低温等离子特性的深入分析,牵制高功率脉冲磁控溅射运用的主要不足有:堆积速度低,非常容易进到电孤充放电危害膜层质量。
从开关电源视角考虑,对于高功率脉冲磁控溅射的高功率大电流量特性,选用复合型直流电/脉冲开关电源提高高功率脉冲磁控溅射的堆积速度,选用电孤抑止电源电路防止电孤对膜层质量的伤害。
结果显示,复合型高功率脉冲磁控溅射开关电源的设计方案有益于改进堆积速度;电孤抑止电源电路可快速检测,并根据电孤抑止控制回路迅速释放出来残留动能,防止了电孤对高功率脉冲磁控溅射的危害。
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