微弧氧化提升了传统式的阳极氧化电流量、工作电压法拉第地区的限定，把阳极氧化电位差由几十伏提升到好几百伏，空气氧化电流量也自小电流量发展趋势到大电流量，由直流电发展趋势到沟通交流，导致在试品表面上发生电晕放电、辉光、微弧充放电、乃至火花充放电等状况。
一般觉得，微弧氧化全过程历经四个阶段。
（1）阳极氧化阶段
将试品放置一定的锂电池电解液中，插电后，试品表面和负极表面发生成千上万细微匀称的乳白色汽泡，并且随工作电压上升，汽泡慢慢增大变密，转化成速度也持续加速。在做到击穿电压以前，这类状况一直存有，这一阶段便是阳极氧化阶段。
（2）火花充放电阶段
当增加到试品的工作电压做到击穿电压时，试品表面逐渐发生成千上万细微、色度较低的火花点。这种火花点相对密度不高，无爆鸣声。在该阶段，试品表面逐渐产生瓷器层，但瓷器层的生长发育速度不大，强度和致相对密度较低，因此应尽量避免这一阶段的時间。
（3）微弧氧化阶段
进到火花充放电阶段后，伴随着工作电压再次上升，火花慢慢增大调亮，相对密度提升。接着，试品表面逐渐匀称地发生放电孤斑。弧斑很大，相对密度较高，随电流强度的提升而调亮，并伴随明显的爆鸣声，这时即进到微弧氧化阶段。
（4）熄弧阶段
微弧氧化阶段后期，工作电压做到最高值，瓷器层的生长发育将发生二种发展趋势。一种是试品表面的弧点愈来愈疏并最后消退，表面仅有小量的碎碎的火花，这种火花最后消退，爆鸣声终止。另一种是表面仅有小量的碎碎的火花，这种火花最后会彻底消退，与此同时别的一个或好多个位置突然冒出很大的弧斑。这种很大的弧斑明亮晃眼，能够长期维持没动，而且造成很多汽体，爆鸣声提升。
